技術(shù)編號：3776362
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體使用的化學(xué)腐蝕液，具體涉及為一種對砷化鎵(GaAs) 太陽電池帽層進(jìn)行選擇性腐蝕的化學(xué)腐蝕液。背景技術(shù)GaAs太陽電池因其與太陽光譜良好的匹配性，具有更高的理論轉(zhuǎn)化效率。且其還 具有耐高溫、抗輻照、壽命長等優(yōu)點(diǎn)，很適合太空應(yīng)用，早已引起人們的廣泛關(guān)注。但由于 GaAs的表面復(fù)合速率比較大，在制備工藝中需要在PN結(jié)表面上生長一層AlxGai_xAs外延層 作為窗口層，來降低表面復(fù)合速率。通常將AlxGai_xAs層中Al的含量χ定為0.8 0...
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