技術(shù)編號：3775151
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種鈦酸鉛基鐵電薄膜的制備方法。 背景技術(shù)近年來，鐵電陶瓷及其薄膜材料，尤其是鉛基鐵電薄膜由于具有優(yōu)良的 鐵電、熱釋電、電光、聲光及非線性光學(xué)特性，在微電子和光電子領(lǐng)域，尤其是高容量存儲器和非制冷紅外探測器方面具有廣泛的應(yīng)用前景，自20世紀(jì) 90年代以來，對這類鐵電薄膜材料的研究在國內(nèi)外都是前沿和熱門課題。在 鐵電薄膜材料和器件的制備方面，目前已經(jīng)取得較大進(jìn)展。鈦酸鉛(PT)基薄 膜作為一種鐵電材料，具有存在自發(fā)極化及高介電常數(shù)的特性，是一種被人...
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