技術(shù)編號：3774411
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于控制流體的微觀機械裝置。具體地，本發(fā)明涉及在微觀機械裝置和流體岐管基礎(chǔ)物之間建立一個清潔、耐腐蝕和氣密的連接的技術(shù)。背景技術(shù) 微觀機械裝置(也稱為微觀機電(MEM)裝置，微觀加工裝置和納米結(jié)構(gòu))是使用半導體加工技術(shù)構(gòu)成的微米級的三維物體。在此使用的術(shù)語“微觀機械裝置”指至少部分依靠半導體加工技術(shù)構(gòu)成的任何三維物體。微觀機械裝置被用作流體控制裝置。在此使用的術(shù)語“流體”涉及氣體或液體。精確的流體控制在從藥品輸送到半導體加工設(shè)備的許多應用范圍內(nèi)都...
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