技術(shù)編號：3767428
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種硅基發(fā)光材料及其制備工藝，尤其是一種硅基藍—紫光發(fā)光材料。目前，硅基發(fā)光材料的制作一般采用普通物理、化學(xué)或物理化學(xué)工藝，如化學(xué)腐蝕、射頻輝光放電、等離子體化學(xué)氣相沉積、高溫氧化后處理、離子注入結(jié)合退火處理等。用這些工藝所制作的硅基發(fā)光材料通常為發(fā)射長波長光波(如紅光)的發(fā)光材料，一般不能得到發(fā)射藍—紫光的發(fā)光材料。另外用上述工藝制作的材料的性能參數(shù)重復(fù)性也較差。本發(fā)明的目的是為了提供一種性能穩(wěn)定且發(fā)光效率較高的硅基藍—紫光發(fā)光材料。本發(fā)明的另...
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