技術(shù)編號：3766173
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在玻璃襯底、半導體晶片等被處理物表面上以規(guī)定寬度涂布如光致抗蝕劑液和成為濾色器的涂布液的狹縫噴嘴。背景技術(shù) 圖4是表示現(xiàn)有的狹縫噴嘴的重要部分的視圖，在現(xiàn)有的狹縫噴嘴中，使墊片13介于左右的半體11、12的對接面上并用螺栓接合。在這種情況下，狹縫狀噴出口14的寬度尺寸W取決于墊片13的厚度。但是，準確加工墊片13是有限的，所以很難正確設(shè)定噴出口14的寬度尺寸。因此，可以考慮不用墊片的狹縫噴嘴，但墊片是為了防止從側(cè)面漏液，所以，需要在噴嘴的兩側(cè)端安...
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