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微型流體噴射裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3765484

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本發(fā)明屬于微量流體傳輸與控制裝置,特別是一種適用于微電子機械系統(tǒng)及家庭裝飾等領域的微型流體噴射裝置。背景技術(shù) 目前出現(xiàn)了多種流體噴射裝置,傳統(tǒng)流體噴射裝置大多采用外界供給高壓流體形成噴射效果。這種噴射裝置由于需要額外的壓力輔助設備,因而系統(tǒng)構(gòu)成復雜,成本較高。但利用壓電驅(qū)動技術(shù)構(gòu)造的流體噴射裝置還不多見,目前清華大學研究的噴霧器,其加工難度較大,制造成本高。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是為了滿足微機電系統(tǒng)對流體傳輸與控制的需要,提供一種結(jié)構(gòu)更為簡單、緊湊,易于微型...
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