技術(shù)編號：3750872
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種從狹縫狀的噴出口向基板噴出處理液并形成規(guī)定膜厚的涂敷膜的涂敷膜形成方法和涂敷膜形成裝置。背景技術(shù)例如，在FPD(平板顯示器FLAT PANEL DISPLAY)的制造過程中，利用所謂的光刻工序形成電路圖案。在該光刻工序中，在基板等基板上形成規(guī)定的膜之后，涂敷作為處理液的光致抗 蝕劑(以下稱為抗蝕劑)，形成抗蝕劑膜(感光膜)。然后，與電路圖案相對應(yīng)地曝光上述抗蝕劑膜，對曝光后的上述抗蝕劑膜進(jìn)行顯影處理，形成圖案。在這樣的光刻工序中，作為向基板涂...
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