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感光性樹脂組合物、感光性樹脂組合物膜和使用它們的半導體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3750067

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本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物和感光性樹脂組合物膜。更詳細地說,涉及用于半導體元件、多層結(jié)構(gòu)的半導體器件、圖像傳感器等的感光性組合物、特別是具有粘合功能的感光性樹脂組合物。背景技術(shù)近年來,為了實現(xiàn)半導體器件和電子部件的高性能化、低成本化,提出了各種各樣的封裝形態(tài)。例如,為了形成圖像傳感器或MEMS那樣的中空狀封裝件,已知用具有粘合性的樹脂間隔物包圍元件周圍,在上面貼上玻璃等基板形成中空結(jié)構(gòu)的方法(例如,參見專利文獻I)。在這樣的用途中,要求通過光刻可形成圖案的...
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