技術(shù)編號(hào)：3749885
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般涉及用于固化基板上的薄膜的裝置，并且更具體地，涉及用于提供在移動(dòng)基板上的薄膜的瞬態(tài)熱分布處理的裝置。背景技術(shù)通?；宓奶匦韵拗票∧さ臒崽幚怼Ｓ捎诨宓某杀究赡苁亲罱K產(chǎn)品的整個(gè)成本的重要部分，通常優(yōu)選廉價(jià)基板。廉價(jià)基板，例如聚合物或纖維素，趨于比更昂貴的基板(例·如，玻璃或陶瓷)具有更低的最大加工溫度。因此，當(dāng)在低溫度基板上熱處理薄膜時(shí)，典型地將整個(gè)基板疊層加熱到基板的最大加工溫度，以使處理時(shí)間最小化。一些薄膜材料要求與低溫度基板不兼容的更高等級(jí)的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。