技術(shù)編號：3746963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，特別是在半導(dǎo)體器件制造過程中，包含第VIII族金屬(優(yōu)選包含鉑)的表面的平面化方法。背景技術(shù)金屬和金屬氧化物的膜，特別是較重的第VIII族元素的膜，對于各種電子和電化學(xué)的應(yīng)用日益重要。這至少是因為許多VIII族金屬的膜一般是不活潑的，能耐氧化或阻滯氧的擴散，而且是優(yōu)良的導(dǎo)體。這些金屬中某些金屬的氧化物也具有這些性質(zhì)，不過在程度上也許不同。因此，第VIII族金屬、它們的合金、和金屬氧化物的膜，特別是第二和第三行(row)金屬(例如Ru、Os、Rh...
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