技術(shù)編號(hào)：3744964
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子輔助材料及加工工藝，特別是一種用于藍(lán)寶石襯底材料的熱化學(xué)機(jī)械拋光法及拋光液。背景技術(shù)藍(lán)寶石集優(yōu)良的光學(xué)、物理和化學(xué)性能于一體，與天然的寶石有著相同的光學(xué)性能、力學(xué)性能、熱學(xué)性能、電氣性能和介電特性，并且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、防腐蝕，莫氏硬度達(dá)到9 級(jí)，僅次于金剛石的硬度。由于藍(lán)寶石本身具有優(yōu)良的性質(zhì)故其已經(jīng)廣泛被應(yīng)用于國防、科研、工業(yè)等領(lǐng)域，在其眾多的應(yīng)用中由于藍(lán)寶石與GaN之間的晶格常數(shù)失配率小，所以現(xiàn)階段是最主要的GaN薄膜外延襯底之一。由于G...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。