技術(shù)編號：3743025
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種拋光劑，尤其涉及一種用于拋光含鈦基材的拋光漿料。 背景技術(shù)在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造工藝中，一個集成電路往往包含了數(shù)百萬個電子元件，這些電子元件通過多層互連件互連安裝在硅基材上，并且相互之間通過金屬通路或觸點(diǎn)互連，以形成完整的功能的電路。在目前的半導(dǎo)體制造中，鈦或是氮化鈦是常用的金屬通路或是觸點(diǎn)的填充金屬。 由于鈦或其合金在整個半導(dǎo)體制造過程中起著重要的作用，如何確保在拋光后保持鈦或是其合金表面的平整度，是半導(dǎo)體制造工藝中重要環(huán)節(jié)。在整個半導(dǎo)體基材的拋...
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