技術(shù)編號：3727828
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明研磨液組合物 本發(fā)明涉及研磨液組合物，使用該研磨液組合物的用于減少基板表面缺陷的方法和使用上述研磨液組合物的基板的制造方法。在近年的存儲硬盤驅(qū)動器中，為了謀求高容量·小直徑化而提高記錄密度，要求降低磁頭的浮上量，而且強(qiáng)調(diào)要減小單位記錄面積。與之相應(yīng)，對磁盤用基板的制造工序中對研磨后要求的表面品質(zhì)逐年嚴(yán)格，對應(yīng)于磁頭的低浮上，要求提高表面平滑性和降低表面缺陷。對于這種要求，提出了針對表面粗糙度Ra、Rmax、刮痕、坑、凸起等表面平滑性進(jìn)行改進(jìn)的研磨液...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。