技術(shù)編號：3715548
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種藍(lán)寶石晶片拋光液，由以下組分組成固含量為30~40wt%硅溶膠20~30wt%；直徑為80~200nm氧化鋁10~20wt%；有機(jī)堿0.1~4%wt%；分散劑0.1~3wt%；壬基酚聚氧乙烯基醚0.3~1wt%；余量為去離子水。本發(fā)明通過硅溶膠和氧化鋁的復(fù)合，既保證了拋光速度又避免了加工劃痕，進(jìn)一步通過加入壬基酚聚氧乙烯基醚、分散劑等使拋光液形成穩(wěn)定的膠體分散體系，促進(jìn)被拋光晶片和拋光墊的充分潤濕使拋光液在拋光墊和被拋光晶片之間穩(wěn)定均勻的分...
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