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聚合物光波導(dǎo)路器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3692253

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本發(fā)明涉及,更具體來說,涉及在襯底上具有搭載光纖用的V型槽的。背景技術(shù) 近年來伴隨著微型電腦和互聯(lián)網(wǎng)的普及,信息傳輸需求急劇增加。由此,期望著將傳輸速度快的光傳輸普及至個人計算機等末端信息處理裝置。為了實現(xiàn)該目標(biāo),需要廉價且大量地制造出高性能的光波導(dǎo)路,應(yīng)用于光互聯(lián)。作為光波導(dǎo)路的材料已知有玻璃、半導(dǎo)體材料等無機材料以及樹脂。作為形成光波導(dǎo)路的樹脂已公開有各種材料,但是尤其期待玻璃轉(zhuǎn)化溫度(Tg)高、耐熱性優(yōu)異的聚酰亞胺。由聚酰亞胺形成芯體和包覆層時,可以...
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