技術(shù)編號：3655849
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光電子器件的制造方法，具體涉及一種制備聚硅氧烷光波導(dǎo)的方法。 背景技術(shù)由于計算機在超并行、大容量的數(shù)據(jù)和圖像的快速計算和實時處理中存在“電子 瓶頸”，光互連代替?zhèn)鹘y(tǒng)電互連成為了研究的熱點。尤其在芯片光互連中，聚合物波導(dǎo)以其 低成本、簡單工藝、能大規(guī)模生產(chǎn)和集成度高的優(yōu)勢，在光電印制電路板中得到了廣泛的應(yīng) 用。尋求低損耗以及用于芯片間光互連的波導(dǎo)材料和相應(yīng)的制造工藝一直為人們所關(guān)心。傳統(tǒng)的光集成和光電集成是做在鈮酸鋰(LiNbO3)和硅基半導(dǎo)體材料...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。