技術(shù)編號：3647801
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用作半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)膜、及層間絕緣膜的、作為耐熱性樹脂的 前體的感光性樹脂組合物、使用該感光性樹脂組合物的具有耐熱性的固化浮雕圖案的制造 方法、以及具有該固化浮雕圖案而成的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體裝置的表面保護(hù)膜、以及層間絕緣膜中，廣泛使用兼具優(yōu)異的耐熱性、電 特性、以及機(jī)械特性等的聚酰亞胺樹脂。該聚酰亞胺樹脂現(xiàn)在大多以感光性聚酰亞胺前體 組合物的形式提供。在制造半導(dǎo)體裝置的過程中，將該前體組合物涂布到硅片等基板上，進(jìn) 行基于活性光線的圖...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。