技術(shù)編號(hào)：3639770
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)全氟聚合物的改進(jìn)，尤其是對(duì)用于液體加工和導(dǎo)線 絕緣中的全氟聚合物的改進(jìn)。背景技術(shù)全氟聚合物因其化學(xué)耐性和化學(xué)惰性而為人所知。然而，例如用于制造集成電路的PFA(四氟乙烯/全氟烷氧基共聚物)的加工硅片載 體和加工管路系統(tǒng)的某些應(yīng)用需要P F A被氟化形成穩(wěn)定的端基，以避 免因不穩(wěn)定的端基分解而形成氟化氫(HF)。用于這種制造的加工液 體中小于lppm的HF量會(huì)損害硅片。這一問題在J. Goodman等人，"Fluoride Contaminati...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。