技術(shù)編號：3619488
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于一種功能高分子材料的制備方法，特別是一種。背景技術(shù)聚酰亞胺是一類具有優(yōu)良的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、介電性能和機(jī)械性能的高性能聚合物材料，在航天工業(yè)和微電子工業(yè)等現(xiàn)代高有非常重要的應(yīng)用。例如在微電子制造工業(yè)中，用作各類器件鈍化保護(hù)和層間介電等。在這些方面的研究中，聚酰亞胺層必須形成微細(xì)的聯(lián)接通孔或聯(lián)接窗口。傳統(tǒng)的做法是在非光敏性的聚酰亞胺膜上涂上一層光刻膠，然后曝光得到光刻膠圖形，以光刻膠圖作掩蔽層，采用腐蝕劑腐蝕下層的聚酰亞胺，再除去光刻膠層，才能...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。