技術(shù)編號：3555863
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種制造六氟乙烷的方法及其用途。背景技術(shù) 使用六氟乙烷(CF3CF3)作為例如半導(dǎo)體的清潔或蝕刻氣體。迄今為止已經(jīng)知道多種制造CF3CF3的方法。其例子包括(1)在氟化催化劑的存在下用氟化氫將二氯四氟乙烷、一氯五氟乙烷或類似物氟化的方法，以及(2)用氟氣直接將四氟乙烷和/或五氟乙烷氟化的方法。但是，例如，當(dāng)采用上述(1)的方法時，在制得的CF3CF3中含有作為雜質(zhì)的來自原材料中的化合物或通過該反應(yīng)新制成的化合物。在這些雜質(zhì)中，含氯化合物難以與CF...
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