技術(shù)編號:3548588
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請是1993年4月26日提出的系列號為08/051,917的申請案的部分繼續(xù)申請。本申請涉及三氟甲烷(CF3H)和四氟甲烷(CF4)的制備。背景技術(shù)CF3H是用作生成四氟乙烯的前體,而四氟乙烯可聚合成聚四氟乙烯。CF4可用作半導(dǎo)體工業(yè)中的等離子體激活劑。以前,這些化合物都是作為一般反應(yīng)產(chǎn)物以二步工藝流程高產(chǎn)率生產(chǎn)的。第一步是生成一個氯化的中間產(chǎn)物,例如,從甲烷開始;隨后氟化這個中間產(chǎn)物,例如,CCl4和HF反應(yīng)得CF4。美國專利3258500中的例4公...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。