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一種破碎多晶硅棒的裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):354472

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明屬于多晶硅加工領(lǐng)域,尤其涉及一種將多晶硅棒破碎成多晶硅塊的裝置及 方法。背景技術(shù)生產(chǎn)多晶硅的西門(mén)子工藝,其原理是在1100°C左右的高純硅芯上用高純氫還原高 純?nèi)葰涔?,生成多晶硅沉積在硅芯上。改良西門(mén)子工藝是在傳統(tǒng)西門(mén)子工藝的基礎(chǔ)上,同 時(shí)具備節(jié)能、降耗、回收利用生產(chǎn)過(guò)程中伴隨產(chǎn)生的大量H2、HCI、SiCI4等副產(chǎn)物以及大量 副產(chǎn)熱能的配套工藝。目前世界上絕大部分廠家均采用改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅。西門(mén)子 法或改良西門(mén)子法生產(chǎn)的原生純多晶硅是一種棒狀結(jié)構(gòu)。在直拉單晶硅原料時(shí),需要將其 破碎成塊狀結(jié)構(gòu)...
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