技術(shù)編號：3506226
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。具有酚取代基的化合物、制備該化合物的方法、以及包含該化合物的抗蝕劑組合物發(fā)明背景發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及具有酚取代基的化合物、制備所述化合物的方法以及包含所述化合物的抗蝕劑組合物。更具體地，本發(fā)明涉及具有新的酚取代基(包括在酚羥基中含有酸解離性官能團的特定取代基)的化合物、制備所述化合物的方法以及用于使用光刻 (lithography)進行微加工的領(lǐng)域的抗蝕劑組合物(具體是包含所述具有酚取代基的化合物并用作用于極紫外線的抗蝕劑組合物的抗蝕劑組合物)。相關(guān)技術(shù)說明...
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