技術(shù)編號(hào)：3492924
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種由以下化學(xué)式1表示的用于硬掩膜組合物的單體、包括該單體的硬掩膜組合物、以及使用該硬掩膜組合物形成圖案的方法。在以下化學(xué)式1中，A、A'、A″、L、L'、X、X'、m、和n與在具體實(shí)施方式中的定義相同。[化學(xué)式1]專利說明用于硬掩膜組合物的單體和包括該單體的硬掩膜組合物以 及使用其形成圖案的方法[0001] 相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用[0002] 本申請(qǐng)要求于2013年6月26日提交到韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的韓國專利申請(qǐng)?zhí)?10-2013-0073947、韓...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。