技術(shù)編號:3474897
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種多晶硅定向凝固裝置,具體涉及一種低能耗多晶硅定向凝固裝置,包括爐體,爐體內(nèi)放置有石英坩堝,石英坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞設(shè)置有石墨發(fā)熱體、保溫套筒和感應(yīng)線圈,石英坩堝底部設(shè)置有與爐體底部通連的水冷拉錠機構(gòu),其特征在于石英坩堝和水冷拉錠機構(gòu)之間設(shè)置有石墨托板,石墨托板底部沿外圍方向與爐體內(nèi)底部之間等距設(shè)置有可橫向移動的活動支架。本實用新型所具有的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單,改裝方便,通過外加的活動支架實現(xiàn)了在多晶硅熔煉保溫過程中不需要與水冷拉錠機構(gòu)接...
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