技術(shù)編號：3474143
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了，包括S1對金屬鎳片襯底進行超聲清洗，并烘干后放置于管式爐中；S2向管式爐中通入惰性氣體；S3對管式爐進行升溫處理使其達到750℃～1000℃并保持10分鐘～50分鐘，向管式爐中通入氫氣，并對金屬鎳片襯底進行熱處理；S4向管式爐中通入流量為20sccm～100sccm的碳氫化合物，使得經(jīng)過熱處理后的金屬鎳片襯底催化碳氫化合物裂解以及鎳片溶碳后同時生長石墨烯和非晶碳薄膜；S5對管式爐進行降溫處理，并將生長有石墨烯和非晶碳薄膜的鎳片浸泡在腐蝕液中腐...
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