技術編號：3474064
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于多晶硅提純領域，具體涉及一種電子束熔煉液態(tài)硅除氧的方法及其裝置，本發(fā)明中打破了傳統(tǒng)的除氧模式，首先在中頻感應裝置中進行待除氧硅料熔化，能夠有效降低熔化所需能耗，借用導流槽進行電子束除氧熔煉，由于硅液能夠在導流區(qū)域內鋪散，比表面積增大，因此電子束熔煉效果更好，由于導流區(qū)域是向下傾斜的構造，經(jīng)熔煉提純后的硅液流入凝固坩堝內，在凝固坩堝內進行堆積，一般選用較大尺寸的凝固坩堝，方便一次電子束熔煉工藝達到更大的單爐產量。本發(fā)明的優(yōu)點在于提出了電子束除氧的工...
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