技術(shù)編號：3473908
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種提純方法，具體涉及電子工業(yè)用坩堝及內(nèi)襯材料的高純石英的提 純方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體及電子工業(yè)用高純石英坩堝是半導(dǎo)體技術(shù)、光纖通訊、特種光源、航空航天 及國防軍工等高新的重要性器皿材料，低鋁、低硼、低堿石英坩堝則更是如此，生 產(chǎn)單晶硅必須使用高純低鋁石英坩堝，無可替代，它們支撐的產(chǎn)業(yè)達(dá)數(shù)萬億美元，生產(chǎn)高質(zhì) 量高純石英坩堝，原料是關(guān)鍵。國際上從美國尤尼明公司IOTA系列超純石英砂質(zhì)量指標(biāo)表 可以看出，IOTA-標(biāo)準(zhǔn)鋁含量是16. 2ppm、I0TA...
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