技術編號：3473387
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了以四氟化硅和氮氣生產(chǎn)氮化硅和三氟化氮的設備和工藝，設備包括等離子體發(fā)生器、等離子體反應器、冷卻室、氣固分離室、三氟化氮精制裝置；等離子體發(fā)生器與等離子體反應器相連通，等離子體反應器的出料口與冷卻室的進料口相連通，冷卻室還設有低溫氮氣輸入口，冷卻室的出料口與氣固分離室的進料口相連通，氣固分離室的氣相出料口與三氟化氮精制裝置的進料口相連通，氣固分離室的固相出料口為氮化硅排出口，三氟化氮精制裝置設有三氟化氮排出口和廢氣排出口。本發(fā)明工藝路線新穎、合理...
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