技術(shù)編號:3473094
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于多晶硅提純領(lǐng)域,具體涉及一種應(yīng)用于多晶硅定向凝固提純的組合式坩堝,包括石英坩堝壁和石墨坩堝底,石英坩堝壁的下端與石墨坩堝底相互拼接;其中,石英坩堝壁為上下貫通的立體結(jié)構(gòu),石墨坩堝底的橫截面形狀與石英坩堝壁的橫截面形狀一致。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于(1)采用石墨材質(zhì)作為坩堝底,充分利用石墨導(dǎo)熱系數(shù)大的優(yōu)點(diǎn),提高了定向凝固效果,大大節(jié)約了能耗;(2)石英坩堝壁和石墨坩堝底采用拼接的方式連接,方便出現(xiàn)破損時更換,減小了成本;(3)固液界面控制穩(wěn)定,波動小,方便...
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