技術(shù)編號：3471685
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。背景技術(shù)本發(fā)明涉及生產(chǎn)氟化物的方法，更特別涉及通過酸消解堿金屬或堿土金屬和鋁的氟化物鹽而。硅烷是具有許多工業(yè)用途的多用途化合物。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅烷可用于在半導(dǎo)體晶片上沉積外延娃層和用于生廣多晶娃。多晶娃是用于生廣許多商品(包括例如集成電路和光伏(即太陽能)電池)的重要原材料，其可通過硅烷在流化床反應(yīng)器中在硅粒子上熱分解來生產(chǎn)?？梢酝ㄟ^使四氟化硅與氫化堿金屬或堿土金屬鋁(例如四氫化鋁鈉)反應(yīng)生產(chǎn)硅烷，如美國專利No. 4，632，816所述，該專利出于所有...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。