技術(shù)編號：3468874
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于多晶硅生產(chǎn)，更明確地說涉及西門子法多晶硅生產(chǎn) 用還原爐的改進和創(chuàng)新。背景技術(shù)傳統(tǒng)的多晶硅生產(chǎn)一般釆用西門子法。多晶硅還原爐的結(jié)構(gòu)大致如下。生產(chǎn)時將提純后的SiHCl3與H2混合后，從底部九個進氣口噴入還原爐。氣 體亦從底部出氣口排出。器內(nèi)還排布了 12對電極。生產(chǎn)前先將直徑8mm的 細珪棒固定在電極上，硅棒高2350mm， 24根硅棒在頂部再由直徑8mm的 硅棒兩兩相接，將12對電極連通。然后再將還原爐外殼體吊裝到底座上， 把硅棒罩住。外殼體與底...
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