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技術(shù)編號：3468867

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本發(fā)明涉及低溫生長條件下利用化學(xué)氣相沉積工藝(CVD)制備大尺寸高光學(xué)透過性能硫化鋅(ZnS)設(shè)備及其工藝，屬于無機塊狀材料制備的領(lǐng)域。背景技術(shù)ZnS屬于性能優(yōu)良的紅外光學(xué)透過材料，它的透射波段涵蓋可見光、中紅外和遠紅外，同時具備優(yōu)良的力學(xué)和熱學(xué)性能，是應(yīng)用于特殊環(huán)境或者先進武器中的紅外探測、成像等裝置的窗口 、整流罩和透鏡的首選材料。 目前國際上制備ZnS途徑有粉末熱壓工藝、熔融單晶拉制工藝和化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝等。CVD工藝制備的ZnS材料純度好...
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