技術(shù)編號(hào)：3467763
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到一種增加多晶硅還原爐里硅芯根數(shù)的方法，而且是一種不增大還原爐就可增加硅芯根數(shù)的方法。背景技術(shù)目前，我國有90%以上的多晶硅生產(chǎn)廠家是采用改良西門子法(三氯氫硅氫還原法)來生產(chǎn)多晶娃。該法生產(chǎn)多晶娃是利用三氯氫娃與氫氣在還原爐內(nèi)的娃芯表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)后生成的。其生產(chǎn) 量與硅芯的表面積有關(guān)。在相同壓力、流量和溫度的工藝條件下，硅芯表面積大的，產(chǎn)生的多晶硅就多，因此生產(chǎn)速度就快，生產(chǎn)量就高。改良西門子法的歷史較長，生產(chǎn)工藝相對(duì)成熟，但由于最初的多晶硅...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。