技術(shù)編號：3467141
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體地，涉及。 背景技術(shù)在多晶硅生產(chǎn)過程中，會產(chǎn)生大量四氯化硅副產(chǎn)物。例如，采用三氯氫硅氫還原工藝(改良西門子工藝)生產(chǎn)多晶硅時，每生產(chǎn)1噸多晶硅會產(chǎn)生15噸四氯化硅副產(chǎn)物。目前，處理四氯化硅的常規(guī)方法是采用冷氫化技術(shù)將四氯化硅轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)多晶硅的原料三氯氫硅，從而將四氯化硅循環(huán)利用。然而，在此處理工藝中，10-20%的四氯化硅由于含有大量固體粉塵(如硅粉)和金屬雜質(zhì)(如鋁、鐵、鎳等)而成為四氯化硅殘液，無法重新回到多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中...
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