技術(shù)編號(hào)：3467021
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及對(duì)作為雜質(zhì)至少含有氧、氫、一氧化碳和氮的氬氣進(jìn)行回收并提純的方法及裝置。背景技術(shù)在例如硅單晶提拉爐、陶瓷燒結(jié)爐、煉鋼用真空脫氣設(shè)備、太陽(yáng)能電池用硅等離子體熔化裝置、多晶硅鑄造爐這類(lèi)設(shè)備中，氬氣被用作爐內(nèi)氣氛氣體等。為了再利用而從這類(lèi)設(shè)備回收的氬氣因混入氫、一氧化碳、二氧化碳、空氣等而純度下降。因此，為了提高所回收的氬氣的純度，實(shí)施使雜質(zhì)被吸附劑吸附的處理。還有，為了高效地進(jìn)行這種雜質(zhì)吸附，提出了使雜質(zhì)中的氧與可燃成分進(jìn)行反應(yīng)來(lái)作為吸附處理的前處理...
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