技術編號：3466243
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種純度為99. 99999%三氯氧磷的生產方法本發(fā)明涉及化工，具體來說涉及一種三氯氧磷的生產方法。 背景技術高純三氯氧磷是集成電路、太陽能電池生產的摻雜劑，是制造光纖預制棒的原材 料之一，其純度要求高達99. 9999%以上，特別是大規(guī)模集成電路用三氯氧磷，要求單項金 屬雜質含量不超過lOppb。中國專利公開號CN1613752于2005年05月11日公開了一種“99. 99999%三氯氧化磷生產工藝”，其采用高純黃磷與高純氯氣反應生產三氯化磷，所得三氯...
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