技術(shù)編號：3466094
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子行業(yè)和光伏行業(yè)使用的高純化工材料，是一種純度為 99. 99999%的一種電子級三氯氧化磷的生產(chǎn)方法及其裝置。背景技術(shù)電子級三氯氧化磷是一種超純試劑和超高純材料。是大規(guī)模集成電路和光伏太陽能電池的支撐性材料。近幾年隨著太陽能電池制造業(yè)的較快發(fā)展，對電子級三氯氧化磷的用量逐年增加。由于現(xiàn)在廣泛使用的電子級三氯氧化磷的生產(chǎn)方法是氯化水解法，這種方法相對于其它方法比較容易掌握，所以國內(nèi)各企業(yè)基本均使用同一種方法。但是，這種氯化水解法的不足較為明顯...
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