技術(shù)編號：3458268
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及高純度元素硅的制備領(lǐng)域，特別涉及改良西門子工藝中含硅鹵化物脫鹵加氫工藝。背景技術(shù)目前，高純度元素硅生產(chǎn)主要采用改良西門子法和流化床法。所謂西門子法的原理就是在800-110(TC左右的高純硅芯上用高純氫還原高純含硅化合物，生成高純度元素硅并沉積在硅芯上。改良西門子法則是在西門子法的基礎(chǔ)上，增加了還原尾氣干法回收系統(tǒng)、 四氯化硅(SiCl4)氫化工藝，實(shí)現(xiàn)閉路循環(huán)，通過采用大型還原爐，降低了單位產(chǎn)品的能耗。 流化床法則是以含硅化合物為原料，在800...
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