技術(shù)編號：3457736
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種等離子體加熱流化床制備三氯氫硅的裝置，包括流化床反應(yīng)器（10），流化床反應(yīng)器（10）內(nèi)設(shè)置有熱電阻絲（8），流化床反應(yīng)器（10）器壁設(shè)置有硅粉加料口（11）、溫度測控口（12）和壓力計(jì)（9），流化床反應(yīng)器（10）底部設(shè)置有等離子體槍（3）以及氫氣和四氯化硅氣體混合器（6），等離子體槍（3）與等離子熱源體（2）相連，等離子熱源體（2）與等離子電源工作氣體入口（1）相連，氫氣和四氯化硅氣體混合器（6）與氫氣入口（4）和汽化器（14）相連，汽化...
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