技術(shù)編號:3452101
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于多晶硅提純領(lǐng)域,具體涉及一種電子束熔煉高效去除多晶硅中雜質(zhì)氧的裝置,打破了傳統(tǒng)的電子束熔煉模式,不在熔煉坩堝內(nèi)進行電子束熔煉,而是借用導流槽進行電子束除氧熔煉,由于硅液能夠在導流區(qū)域內(nèi)鋪散,比表面積增大,因此電子束熔煉除氧效果更好。本實用新型的優(yōu)點在于(1)提出了電子束除氧的工藝方法和用途,解決了多晶硅中雜質(zhì)氧去除的難題,氧含量可以降低于0.0571ppmw以下,滿足太陽能電池對多晶硅鑄錠含氧量的要求;(2)多晶硅料高效帶狀除氧技術(shù)可增大硅液...
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