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技術(shù)編號(hào)：3450768

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本發(fā)明涉及，特別涉及一種多晶硅生產(chǎn)中吸附塔再生過程排放尾氣的吸附分離凈化回收方法。背景技術(shù)目前國內(nèi)基本都米用改良西門子法生產(chǎn)多晶娃。改良西門子法的多晶娃還原尾氣中含有大量的H2、HCL、SiHCl3、SiCL4等有用成分，這部分還原尾氣均通過⑶I干法回收系統(tǒng)，經(jīng)過冷凝、壓縮、吸收、脫吸、活性炭吸附等工序分別將氯硅烷、HCL、H2分離提純后循環(huán)利用。但在活性炭吸附工序，當(dāng)活性炭床層吸附飽和之后，就需要消耗一部分產(chǎn)品氫氣作為再生氣來反吹床層對吸附塔進(jìn)行再生，使...
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