技術(shù)編號：3450211
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及硅化工領(lǐng)域，特別是涉及一種新型三氯氫硅合成爐。背景技術(shù)目前三氯氫硅合成生產(chǎn)系統(tǒng)均采用沸騰爐方式進行固體與氣體進行反應(yīng)，氯化氫氣體與硅粉固體經(jīng)爐子反應(yīng)段完成反應(yīng)后經(jīng)擴大段進入下一級冷卻降溫、沉降除塵、旋風(fēng)除塵及布袋除塵工序，除完塵的干凈氣體進入冷凝器即得到三氯氫硅粗品。例如申請?zhí)枮?01020013212.0，公開號為201648006U的中國專利“一種三氯氫硅合成爐”，公開了一種三氯氫硅合成爐，包括爐體，所述爐體包括上封頭、中間殼體和下封頭，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。