技術編號:3450152
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及生產(chǎn)多晶硅的還原爐。技術背景生產(chǎn)多晶硅是一個高耗能的行業(yè),其中用于生產(chǎn)多晶硅的還原爐是耗能的關鍵環(huán)節(jié)。還原爐的能耗主要體現(xiàn)在爐內(nèi)熱量的損失。還原爐的爐壁一般為水夾套或油夾套結構,爐壁損失掉爐內(nèi)很大一部分熱量。在運行或停爐過程中,經(jīng)常發(fā)生的硅棒倒棒會沖擊爐體,縮短還原爐使用壽命。在生產(chǎn)中還會在爐體內(nèi)壁產(chǎn)生無用的物質(zhì)或污垢,需要經(jīng)常清理,費時費力。清洗還原爐經(jīng)常會用到一些化學液體,對爐體內(nèi)壁有一定腐蝕作用,又降低了還原爐的使用壽命。發(fā)明內(nèi)容本實用...
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