技術(shù)編號(hào):3448961
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備,尤其涉及一種用于多晶硅生產(chǎn)中氫氣再利用裝置。背景技術(shù)目前多晶硅生產(chǎn)中,還原爐內(nèi)在1000度以上的高溫下三氯氫硅與循環(huán)氫氣反應(yīng)生成多晶硅沉積,因其反應(yīng)比較復(fù)雜,副反應(yīng)比較多,有報(bào)道稱(chēng)主要是三氯氫硅的分解反應(yīng),后期有二氯二氫硅的情況下,有氫氣反應(yīng)生成,同時(shí)在還原混合氣循環(huán)量比較大,還原爐開(kāi)爐比較多時(shí),視孔氫氣吹掃量較大,在實(shí)際生產(chǎn)中,混合氣量達(dá)到3000標(biāo)方/時(shí)以上時(shí),系統(tǒng)有80—100標(biāo)方/時(shí)的氫氣產(chǎn)生,為穩(wěn)定系統(tǒng)壓力,減少氫氣...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。