技術編號：3445731
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于多晶硅生產(chǎn)，特別是針對三氯氫硅的還原工段提出的一種。背景技術目前，國內(nèi)外生產(chǎn)多晶硅的主要工藝技術是改良西門子法。該工藝技術的核心步驟——三氯氫硅的還原反應，是在多晶硅還原爐內(nèi)進行的首先高純的三氯氫硅和氫氣按比例混合后通入多晶硅還原爐，然后在一定的溫度(1080°C 1150°C )和壓力下，在通電高溫硅芯上進行沉積反應生成多晶硅；其中，關鍵反應物組分三氯氫硅的單爐(單臺多晶硅還原爐)單程轉(zhuǎn)化率一般為10%左右；最后剩余的反應物和副產(chǎn)物進入尾氣回收...
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