技術(shù)編號(hào)：3445665
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及分離方法以及分離裝置。背景技術(shù)一直以來，作為蝕刻液，已知包含氫氟酸 和氟化銨的制品。此外，從這種蝕刻液、以及用于蝕刻后的蝕刻廢液中回收氫氟酸(氟)的技術(shù)也已廣為人知(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I中記載了如下方法，即，通過使碳酸鈣與包含氫氟酸和氟化銨的蝕刻液反應(yīng)，從而以二氧化硅含有率較少的高純度氟化鈣的形式而回收氟，再由回收的氟化鈣再次制造蝕刻液用的氫氟酸。但是，在這種方法中，無法從蝕刻液中直接分離、回收氫氟酸。即，以氟化鈣的形式回收后，需要...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。