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技術(shù)編號(hào)：3445613

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本發(fā)明涉及一種電子和光伏領(lǐng)域，具體涉及硅烷生產(chǎn)過程中的一種精餾裝置。背景技術(shù)硅烷生產(chǎn)過程中，原料含有大量的雜質(zhì)，其中有H20、NH3等，作為電子級(jí)硅烷，其中的H2CX O. 5ppm, NH3 O. lppm。H2O可以通過分子篩干燥吸附,NH3必須采用低溫精懼分離。 NH3通常情況下是有刺激性的無色氣體，極易溶于水，易液化，液氨可作致冷劑。密度O. 771 克/升，比空氣輕，沸點(diǎn)(一 33. 35°C)，溶點(diǎn)(一 77. 7°C)。原有低溫精餾塔由筒體、...
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