技術(shù)編號：3445328
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種改進的多層復(fù)合吸氣劑、其制造方法和使用該多層復(fù)合吸氣劑的儲存能量的電化學裝置。背景技術(shù)用于除去氣態(tài)雜質(zhì)的吸氣劑材料的使用已在許多領(lǐng)域中發(fā)現(xiàn)得到應(yīng)用，諸如用于半導(dǎo)體裝置的處理室、處理工藝氣體的純化和抽空室的泵送構(gòu)件。然而，使用吸氣劑材料尤其受到認同的領(lǐng)域之一是從氣密或密封裝置的內(nèi)部容積中除去有害物種，其中這些有害物種的存在危害該裝置的操作。在此情況下，使該裝置的功能性受損的機制基本上為兩種類型，第一類是因該有害物種與該裝置的一或多個組件相互發(fā)生...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。