技術編號：3444990
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本 實用新型涉及ー種多晶硅還原爐尾氣節(jié)能系統(tǒng)，此系統(tǒng)用于還原尾氣冷卻和還原爐進料汽化、加熱。屬還原熱量回收技木。背景技術伴隨著全球節(jié)約能源，減排ニ氧化碳的潮流，世界太陽能光伏產業(yè)進入快速發(fā)展時期。多晶硅是制造光/伏發(fā)電的太陽能電池片的基礎材料，同時以電子級多晶硅為原料生產的單晶硅是電子信息產業(yè)的基礎材料。隨著太陽能產業(yè)和信息技術的快隨發(fā)展，涌現(xiàn)出多晶硅投資生產熱潮。還原爐是多晶硅生產中的核心設備。氣態(tài)的TCS (三氯氫硅)和H2在還原爐的高溫環(huán)境中反應，生...
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